TCB熱壓鍵合設備具有以下特點和優勢:
1. 高精度:貼片頭由線性伺服馬達驅動空氣軸承運動,垂直方向的運動精度可以控制在1um以內。這種高精度確保了晶圓凸點熔化過程中的微移動精準控制,從而實現了更可靠的封裝。
2. 高精密的壓力控制:貼片頭(Bond Head)配備了壓力控制單元,可以實時監測貼片頭在垂直方向運動中的壓力反饋,從而得知芯片在貼片過程中的受壓狀態。這種壓力控制有助于確保芯片和基板之間的貼合度。
3. 快速升降溫能力:TCB熱壓鍵合設備配備了快速升降溫脈沖加熱器,可提供每秒超過100度的升溫速率,以及超過50度/秒的降溫速度。這種快速升降溫能力避免了過多的熱量持續加載給基板,顯著縮短了貼片鍵合所需的時間,有效提高了大尺寸裸Die 凸點固相融合的質量。
4. 主動傾斜控制系統:TCB熱壓鍵合設備還配備了一套主動傾斜控制系統,可以精確調節脈沖加熱器的共面度,使其與基板所在的加熱板表面完美貼合。這種控制系統幾乎可以消除芯片翹起相關的失效,保證了TCB工藝的可靠性。
TCB熱壓鍵合設備的推出,是泰姆瑞對市場的深度洞察與前沿技術的完美結合。它不僅進一步加強了泰姆瑞在高精密貼片機領域的領先地位,也為電子制造行業提供了更為精準、穩定的解決方案。
依托于此項技術,泰姆瑞繼續為電子組裝行業和半導體行業的融合發展貢獻力量,并助力全球客戶提升生產效率與產品品質。期待未來,泰姆瑞將創造更多的技術奇跡,引領貼片工藝走向新的高峰。